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铝酸锂
铝酸锂单晶 是与氮化镓外延膜匹配良好的基片材料， 与氮化镓的晶格失配率非常小（ 1.4% ），所以是氮化镓薄膜理想的基片。
基 本 性 质 |
化学分子式 |
LiAlO2 |
晶体结构 |
四方 |
晶格常数（ Å ） |
a=5.17 c=6.26 |
与 GaN 失配率（ 001 ） |
1.4% |
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生长方法 |
提拉法 |
熔 点 |
1900oC |
密 度 |
2.62g/cm3 |
莫氏硬度 |
7.5Mohs |
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基片规格 |
20×20×0.5mm
10×10×0.5mm
可根据需求提供特殊方向和尺寸。 |
晶面定向精度 |
±0.3o |
表面抛光 |
单/双面抛光 Ra<5 Å |
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