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硅片
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物理性质 |
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掺杂物质 |
掺 B |
掺 P |
不掺杂 |
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类 型 |
P |
N |
P |
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电阻率 Ω .cm |
10-3
~ 40 |
10-3
~ 40 |
102
~ 104 |
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EPD (cm-2 ) |
≤ 100 |
≤100 |
≤100 |
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氧含量 ( /cm3 ) |
≤ 1.8 x1018 |
≤1.8 x1018 |
≤ 1.8 x1018 |
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碳含量 ( /cm3 ) |
≤ 5x1016 |
≤ 5x1016 |
≤ 5x1016 |
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晶体方向 |
<111>,<100>,<110> |
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基片规格
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Dia.1＂ × 0.3mm
Dia.1＂ × 0.5mm
Dia.2＂ × 0.5mm
Dia.3＂ × 0.5mm
可根据需求提供特殊方向和尺寸。 |
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晶面定向精度 |
±0.3o
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表面抛光 |
单/双面抛光
Ra<5 Å |
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