氧化锆
氧化锆(ZrO2)单晶需掺入钇( Y )以稳定其结构,所以一般实际使用的 YSZ 单晶是加入了钇稳定剂的氧化锆单晶。其机械、化学稳定性好,且价格低廉,是良好的单晶基片。
基本性质 |
化学分子式 |
(Zr,Y)O2
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氧化钇含量 |
13 mole% |
晶体结构 |
立方 |
晶格常数 |
a=5.125Å |
生长方法 |
弧熔法 |
密 度 |
5.8g/cm3 |
熔 点 |
2500oC |
热膨胀系数 |
10.3×10-6 / ℃
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介电常数 |
27 |
纯 度 |
>99.99% |
基片规格 |
Dia.2"×0.5mm
Dia.1"×0.5mm
20 ×20×0.5mm
10×10×0.5mm
可根据需求提供特殊方向和尺寸。 |
晶 向 |
<100> <110> <111>
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晶面定向精度 |
±0.3o |
表面抛光 |
单/双面抛光 Ra<5 Å |
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